1、 潔凈車間—加工的精密化

　　現代產品的加工精度已經進入亞微米量級，而且正在向更小的量級發展：利用分子束外延技術已可按一個一個原子層來生長單晶材料；利用離子束刻蝕技術也可以對半導體材料進行一個一個原子的刻蝕剝離等等。因此，科學界提出了在本世紀末可能進行原子級加工的設想，即加工的幾何圖形寬度可以小到幾個原子的線度。

　　2、 潔凈車間—產品的微型化

　　原來體積為幾千立方厘米的電子裝配件，現在縮減到零點幾立方厘米，其中：集成電鍍的圖形距已小到不足1um，一個電子元件的二氧化硅保護膜厚0.5um，光致抗蝕劑厚度只有0.2um，而各層甚至只有0.03um。

　　3、 潔凈車間—產品的高純度(或高質量)

　　由過去認為很純的“化學純”進入今天“電子純”、“超純”時代的藥品、試劑，以及各種超純材料，都是在高純度基礎上才能使原料充分發揮其固有特性或者呈現出新的特性。

　　4、潔凈車間—產品的高可靠性

　　高可靠性對于電子化、自動化時代的產品，對于確保人的安全的無菌操作，對于分子生物學的遺傳工程都有特殊重要的意義。