晶圓防爆真空固化爐

品牌：英鵬

型號(hào)：ZK-固化系列

價(jià)格：電儀/面議

產(chǎn)品用途：

    本產(chǎn)品是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過程中對(duì)聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的設(shè)備，烘箱溫度**可達(dá)450℃

性能特點(diǎn)：

  1.真空度可達(dá)10 Pa

  2.精體內(nèi)氧含量：≤20ppm,提供氧含量檢測(cè)接口

  3.日本優(yōu)易控觸摸屏，升降溫斜率控制

  4.內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作

型號(hào)  ： ZK-固化系列                                 

內(nèi)箱尺寸（H*W*D)  ：  20*20*40                    30*30*60

控溫范圍：RT+20℃~450℃

溫度波動(dòng)：±0.5℃

真  空 度：10pa

氧  含  量：≤20ppm

內(nèi)箱材質(zhì)：SuS316不銹鋼 Stainless Steel Plate

外箱材質(zhì)： 鋼板靜電噴涂表面處理 Baked Painting Steel

保溫材料：硅酸鋁纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton

保護(hù)裝置：聲光報(bào)警器 超溫保護(hù)器 Audible and visual alarm, Over Temp

功       率:   9.0    12.0

電       源　：　AC380V±10%3中50HZ