催化燃燒技術(shù)核心原理的是催化劑對VOC分子的吸附，提高了反應(yīng)物的濃度。

催化氧化階段降低反應(yīng)，提高了反應(yīng)速率。借助催化劑可使廢氣在較低的起燃溫度下，發(fā)生無氧燃燒，成為CO2和H2O放出大量的熱，與直接燃燒相比，具有起燃溫度低，能耗小的特點，某些情況下達(dá)到起燃溫度后無需外界供熱，反應(yīng)溫度在250-400℃。

在工業(yè)生產(chǎn)過程中，排放的尾氣通過引風(fēng)機進入設(shè)備的旋轉(zhuǎn)閥，通過選轉(zhuǎn)閥將進口氣體和出口氣體分開。氣體*先通過陶瓷材料填充層（底層）預(yù)熱后發(fā)生熱量的儲備和熱交換，其溫度幾乎達(dá)到催化層（中層）進行催化氧化所設(shè)定的溫度，這時其中部分污染物氧化；廢氣繼續(xù)通過加熱區(qū)（上層，可采用電加熱方式或然氣加熱方式）升溫，并維持在設(shè)定溫度；其再進入催化層完成催化氧化反應(yīng)，即反應(yīng)生成CO2和H2O，并釋放大量的熱量，以達(dá)到預(yù)期的處理效果

催化燃燒法較適合于高濃度、小風(fēng)量廢氣的凈化，在處理低濃度的廢氣時，由于要維持300～400℃的催化燃燒溫度，需借助于炭吸附等濃縮工藝來提高廢氣的燃燒熱值，但廢氣中的水氣、油污及顆粒物易引起炭吸附容量下降及催化劑中毒失活等問題，使得該方法的推廣和使用在一定程度上受到了制約。