熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計有哪些區(qū)別以及使用方法

熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計主要的區(qū)別在于：氣體質(zhì)量流量控制器可以通過自身帶的閥門做PID調(diào)節(jié)程序，能夠自動的調(diào)節(jié)和控制閥門的開度，來達到控制氣體的質(zhì)量流量。氣體質(zhì)量流量計主要是通過傳感器，感應氣體的流量大小，并輸出到數(shù)據(jù)采集器。熱式氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計的**優(yōu)點就是檢測出來的實際數(shù)據(jù)，不會受到溫度和壓力的影響，實測數(shù)據(jù)用戶也無需在進行溫度和壓力補償?shù)膿Q算。

質(zhì)量流量控制器（MFC）由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源、數(shù)字電壓等。

LF系列的氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計主要用于：擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設(shè)備、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)等制造設(shè)備中，并廣泛應用于石油化工、制藥、冶金等行業(yè)。