效準工作臺：

 IKO直接驅動型校準工作臺SA???DE的直線導向部使用IKO自潤滑直線導軌L，旋轉導向部使用IKO交叉滾子軸承，驅動部采用直接驅

動方式，是一款低斷面緊湊型做XYθ運動的校準工作臺。校準工作臺SA???DE通過高分解能線性光柵尺搭配全閉環控制，實現了沒有后移間隙的高精度定位。

很適合于用作半導體和液晶制造設備等利用圖像處理進行校準處理以及要求清潔環境的測量儀器和檢驗設備等的定位機構。

直線電機驅動：

直線電機驅動的X、Y軸有0.1μm和0.5μm兩種分解能，可根據用途選擇。校準工作臺SA???DE的直線導向部使用直線導軌L和將直線電機驅動的可動臺做雙軸正交組合的XY軸，

旋轉導向部的θ軸采用交叉滾子軸承和直接驅動方式，是一款低斷面緊湊型做XYθ運動的校準工作臺。

通過高分解能線性編碼器搭配全閉環控制，實現了沒有后移間隙的高精度定位。

而且，直線移動用的X軸可動工作臺和旋轉定位部θ軸轉臺均已標準化，可方便地進行X軸和θ軸的組合或架構XY

軸的校準工作臺。