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隨著近些年來半導(dǎo)體行業(yè)的飛速發(fā)展，對(duì)于微細(xì)加工技術(shù)的要求也越來越高。微電子生產(chǎn)設(shè)備，光學(xué)儀器等高靈敏度設(shè)備，針對(duì)其工作環(huán)境（如振動(dòng)，噪聲，電磁以及溫濕度），尤其是振動(dòng)條件提出了更苛刻的要求。針對(duì)此類振動(dòng)幅值小，精度要求高，工作頻率低的使用環(huán)境特征，常規(guī)的通用數(shù)據(jù)采集設(shè)備無法滿足其測(cè)量評(píng)估要求。
微振動(dòng)測(cè)試模擬
針對(duì)航天微振動(dòng)測(cè)試模擬需求，瑞鴻科技提供完整的微振動(dòng)測(cè)試與模擬的交鑰匙解決方案，已有多家客戶正在使用。
1. 微振動(dòng)模擬發(fā)生器
2. 微振動(dòng)配套環(huán)境實(shí)時(shí)
3. 可以模擬0.1mg正弦掃頻
4. 測(cè)試可以達(dá)到ug級(jí)微振動(dòng)測(cè)試
整個(gè)系統(tǒng)建立在隔振環(huán)境好的實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，由低噪聲的微振動(dòng)控制器、低噪聲微振動(dòng)試驗(yàn)系統(tǒng)、低噪聲的傳感器以及電腦組成。微振動(dòng)發(fā)生試驗(yàn)系統(tǒng)包括低噪聲低失真的功率放大器、微振動(dòng)發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)以相關(guān)的輔助設(shè)施實(shí)現(xiàn)。
為了整個(gè)系統(tǒng)的性能要求，采取了微振動(dòng)采集儀低噪聲的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)，同時(shí)選用低噪聲的微振動(dòng)拾取器，配合低噪聲算法軟件，實(shí)現(xiàn)微振動(dòng)的測(cè)試，整個(gè)系統(tǒng)達(dá)到0.01mg的測(cè)試精度。
優(yōu)勢(shì)
（1） 整個(gè)系統(tǒng)低噪聲，動(dòng)態(tài)響應(yīng)好，失真度低，低噪聲
（2） 公司整個(gè)針對(duì)微振動(dòng)系統(tǒng)工程經(jīng)驗(yàn)豐富，技術(shù)成熟
（3） 上海可以本地技術(shù)支持
（4） 有成熟案例
主要技術(shù)參數(shù)和指標(biāo)
（1） 主要頻率范圍5Hz～100Hz。
（2） 振動(dòng)加速度范圍1mg～0.05g(可視實(shí)際環(huán)境工況而定)
（3） 控制精度mg級(jí)
（4） 振動(dòng)方式：正弦、隨機(jī)、沖擊
（5） 負(fù)載重量：大于200kg
系統(tǒng)組成（非標(biāo)定制）
微振動(dòng)發(fā)生系統(tǒng)：包含低噪聲低失真功率放大器、微振動(dòng)發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)。功率放大器采用風(fēng)冷，為低噪聲低失真的輸出功率為15KVA。放大器采用新技術(shù)的MOSFET功率晶體管，數(shù)字脈沖模式工作方式。不對(duì)稱輸入，具有高功效的大的帶寬,針對(duì)于微振動(dòng)試驗(yàn)的特殊要求，專門對(duì)攻放進(jìn)行低噪聲的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使攻放的信噪比**80dB，失真度小于0.7%，針對(duì)于微振動(dòng)的低勵(lì)磁模式控制。微振動(dòng)發(fā)生器裝有自動(dòng)氣囊載荷補(bǔ)償裝置，在大負(fù)荷下能實(shí)現(xiàn)振幅。針對(duì)微振動(dòng)微笑振動(dòng)控制的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使微振動(dòng)發(fā)生器及時(shí)在微小振動(dòng)情況下也能做到高響應(yīng)精度發(fā)生，微振動(dòng)發(fā)生器和放大器之間的連接電纜長(zhǎng)5米。
微振動(dòng)控制系統(tǒng)：振動(dòng)控制設(shè)備的插件包括標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字信號(hào)處理面板，模擬-數(shù)字和數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換軟件，處理所有振動(dòng)和沖擊控制模式的標(biāo)準(zhǔn)軟件。針對(duì)微振動(dòng)專門優(yōu)化硬件和軟件，實(shí)現(xiàn)低噪聲設(shè)計(jì)控制。
微振動(dòng)采集分析系統(tǒng)：為了整個(gè)系統(tǒng)的性能要求，采取了微振動(dòng)采集儀低噪聲的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)，同時(shí)選用低噪聲的微振動(dòng)拾取器，配合低噪聲算法軟件，實(shí)現(xiàn)微振動(dòng)的測(cè)試，整個(gè)系統(tǒng)達(dá)到0.01mg的測(cè)試精度。
加速度傳感器與附件（選件）：針對(duì)微振動(dòng)試驗(yàn)要求，選用低噪聲的傳感器，以及放大器來實(shí)現(xiàn)微振動(dòng)的試驗(yàn)。
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