產(chǎn)品功能：
 清洗： 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗，也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗，清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。
           如：去除有機(jī)污染物，去除納米級微粒，去除氧化層。
活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后，會在表面形成氧原子團(tuán)，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力。
           如：PDMS鍵合，粘接前的預(yù)處理，涂裝前的預(yù)處理，印刷前的預(yù)處理。
蝕刻：工藝部件表面通過特定氣體達(dá)到**濺射，表面材料被剝離，轉(zhuǎn)變成氣相被排出，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤，也使材料表面更粗糙化。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。
            如：硅蝕刻，PTFE/PFA/FEP蝕刻，光刻膠去除。
涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng)，前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面，隨即發(fā)生聚合反應(yīng)，形成聚合物層。
           如：疏水層，親水層，保護(hù)/阻隔層，干潤滑層，疏油層。
 
具體應(yīng)用： 去除部件封裝（半導(dǎo)體）
支架（牙醫(yī)）
心臟起搏器
傳感器
精密驅(qū)動間
車大燈反射鏡
攝像頭
**器械
 
主要技術(shù)參數(shù)：
1.半自動控制
2.根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定功率、壓強(qiáng)、氣體流量等參數(shù)
3.雙路工作氣體，氣體流量通過針型閥流量計控制
4.反應(yīng)艙為高硼硅玻璃腔體，直徑130mm, 長300 mm ，容積約為5L
5.發(fā)生器頻率40KHz,功率0~200W
6.反射波自動調(diào)節(jié)
7.電極材質(zhì)為鋁
8.運行模式為手動
9.配套真空泵的排氣能力為4m3/Hour，配有強(qiáng)制進(jìn)氣閥，國產(chǎn)飛越真空泵
10*配有壓力傳感器，可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值
11.外尺寸：W560mm*D600mm*H460-860mm
12.電源電壓：單相AC230V 16A