晶片規格：
2-8〞單、雙cassette

主要材料:
金屬骨架+PP/PVC殼體，槽體材質PP/PVDF/PTFE
/石英

工藝槽功能：
循環過濾+加熱冷卻+晶片滾動

基礎工藝流程:
顯影槽→QDR 顯影槽→QDR

設備類型：
手動/半自動/全自動（定制）


Footprint : 1500 (W) x 1100 (D) x 2100(H) mm