詳細介紹
主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進入化學酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。
二、參數
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名稱 |
規格 |
耐溫性 |
應用 |
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PFA花籃 PP Cassette
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2寸 |
-200~260℃ |
酸堿傳輸制程 |
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4寸 |
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6寸 |
三、特點
1.耐腐蝕：耐受強酸強堿
2.搭配可活動把手，用于晶圓芯片清洗運輸
3.耐高低溫：-200~260℃
4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無關；
5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；
6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染
7.化學性能穩定
公司擁有三十多年PFA制品生產加工經驗，公司投入大量人力、物力致力于太陽能光伏相關產品的研發，截止目前，公司推出的光伏用--太陽能硅片花籃，太陽能硅片承載器,硅片花藍,,半導體清洗花籃。
產品名稱:6″特富龍卡匣/ PFA晶舟盒
尺寸:179 (L) * 147 (W) * 175 (H)毫米
重量:1045.4克
能力:25PCS
晶圓尺寸:6英寸(?150mm)
材料:聚四氟乙烯/ PFA
槽距:4.76毫米
南京濱正紅儀器有限公司
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