白光光學輪廓儀可以用來測量表面形貌。隨著機械精度和光學加工能力的提高，超光滑或者次納米表面的加工越來越普及，這些表面的量化已成為過程控制的關鍵。

   在對超光滑表面進行定量測量時，**先要清楚每一個測量系統，均存在其固有本底噪音。這些噪音來源電子噪音，接收器噪音、參考表面的微小不平整以及測量環境引起的微小振動等。對大多數樣品，NewView系統的測量噪音基本上可以忽略，因為所測量的結果遠大于本底噪音。但對于非常光滑的表面，本底噪音就得加以考慮，對這些樣品測量超光滑表面需要清楚知道噪聲的來源并加以很好的控制。

測量超光滑表面需要對測量環境很好的控制，理想的測量環境是：

l 機械和聲波的**小化

l 在測量時間內嚴格控制溫度的變化，使樣品物鏡環境溫度變化**小化

l 嚴格控制物鏡和樣品之間的氣流，使氣流對測量影響**小化