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實驗室高純氣路布局

實驗室供氣系統(tǒng)的功能

滿足不同實驗的要求和安全性，雙瓶采用匯流排供氣設(shè)備，具有手動、半自動和全自動切換功能，并沒有低壓報警裝置，實時監(jiān)控氣壓、濃度檢測報警和排確保客戶正常用氣和生命財產(chǎn)安全。

氣路系統(tǒng)常用設(shè)備

鋼瓶(氣體壓縮機)、鋼瓶國定架、鋼瓶柜、鋼瓶接頭、金厘軟管、半自動開關(guān)裝置、**減壓器、二級減壓器、焊接三通、焊接大、小封頭、夾緊套情閥、不銹鋼管(BA)、壓力表、可燃有毒氣體監(jiān)測報警裝置等。

實驗室集中供氣系統(tǒng)技術(shù)要求

1、氣瓶存放室:

(1)氣瓶之間應(yīng)采用300毫米厚的實心墻，安裝防爆門，設(shè)置防爆裔

(2)室內(nèi)電氣設(shè)備應(yīng)具有防爆功能:

(3)應(yīng)安裝排氣扇，隨時保持良好的通風(fēng)狀態(tài)

2、供氣系統(tǒng)需要兩級減壓供氣。供氣匯流排減壓，氣體從15MPa減壓到小于1.5MPa，然后輸送到每個氣體使用實驗室。二級減壓器安裝在每個用氣實驗室或用氣點，便于對通風(fēng)柜或儀表的氣體輸送壓力進行統(tǒng)一控制，用氣終端裝有中壓球閥和壓力指示器。二級減壓器**調(diào)節(jié)壓力(.01兆怕，獲得穩(wěn)定的壓力，可以滿足儀器對不同使用壓力的要求，**減壓器和二級減壓器均配有壓力表，可實時顯示當(dāng)前壓力.

3，采用雙側(cè)匯流排半自動方式連續(xù)供氣，實驗室使用要求，更換氣瓶時，可以通過安裝在高壓軟管下方的夾緊衰更換氣瓶。

4、氫氣和乙快是。應(yīng)設(shè)計氣體泄漏檢測和報警裝置，并安裝陽火器，以防止明火回流。應(yīng)確保放置易燃和助燃?xì)怏w的足夠安全距離.

實驗室高純氣路布局1,高純氣體管道系統(tǒng)的布置不同于普通氣體管道。一般來說，要求管道不要太長，不要有死角，如不容易吹干凈的“盲管”。主管或支管的未端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶中，讓少量氣體在管道未端連續(xù)排出，從而管道中的氣體將正常流動，避免出現(xiàn)”死區(qū)，根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求，必憑時應(yīng)設(shè)置終端凈化裝置。一般來說，控制閥、過減器、減壓裝置、壓力表、流量計、在分析儀器等，進入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于

統(tǒng)一管理和控制。2.高純氣路管道及管道附屋材料高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對氣體純度、允許雜質(zhì)含量、顆粒含量等的不同要求，采用相應(yīng)質(zhì)量的管道。例，半號體工業(yè)僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境，而目由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過程和精細(xì)加工，對生產(chǎn)過程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴(yán)格的要求，從微米技術(shù)到亞徽米和深亞微米小于0.35um)技術(shù)，對氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴(yán)格，10-6 ppm級)不能滿足要求，需要達到10-9 (ppb級)其至10-12pt級)，粉塵粒經(jīng)要控制在0.05-0.01 um。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。

3,管道材料的特性對于輸送高純氣體的管道，影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性.供氣系統(tǒng)管道安裝要求

1、管道教設(shè)應(yīng)符合設(shè)計要求，設(shè)計沒有要求時，千氣管道應(yīng)水平安裝 輸送濕氣的管道應(yīng)安裝坡度不小于0.003，城度應(yīng)期向冷疑水收集器2.管道采用焊接連接，鎢極盒礦煤打底，手工電弧焊看蓋。不銹鋼管焊接或點煤應(yīng)采取充氯保護措施,3.氣體管道和設(shè)備，閥門和其他附性應(yīng)通過法蘭或想紋連接，慢紋接頭的填料必須是娶四氧了,烯演膜.

4、氣體管道穿過潔凈室時，法蘭墊片或擺紋填料的外露部分，必須清理干凈:5,氣體管道采用噴砂除銹或酸洗鈍化無縫鋼管時，必須采用集中安裝方式，安裝應(yīng)在48小時內(nèi)分段組合，每氣保護，填充壓力不小于0.2兆帕6對干有接地要滅的燃?xì)夤艿溃ㄌm之間必須是接導(dǎo)電剛線，導(dǎo)休截面和煤接塔接長度應(yīng)符合設(shè)計要求，俱與必須定固可靠

供氣管道安裝注意事項1.所有氣體管道由高質(zhì)量、退火和無縫不銹鋼管組成，銅管僅用于輸氣管道的末端，對氣體純度的要求不太嚴(yán)格。(例如通風(fēng)櫥)。2、氣路安裝管道不得數(shù)設(shè)電纜和導(dǎo)電線。

3，如7快，要要與其他氣體分開到入，復(fù)與營道與其他可燃?xì)怏w管道平行數(shù)設(shè)時，其間距不得小于05M交叉數(shù)設(shè)時間間隔不得小于025米，分層教設(shè)時營氣管道應(yīng)位于上方。

4壓縮空氣有凈化裝置，用于過演管道上的雜質(zhì)和水分。凈化裝置需要并聯(lián)連接，并通過單獨的閥門分開，以便于過演裝置的維護5.高純氣體管道的連接采用無縫焊接。接頭配件只能在連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時使用。

6、每個實驗室應(yīng)有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表,7通向工作臺的氣體管道應(yīng)安裝單獨的控制闊。工作臺應(yīng)設(shè)置均勻排放各種氣體的控制閥。建議在氨氣管道前安裝一個氣體凈化裝置8、每廈15米左右，氣體管道需妻一個支架。此外，根據(jù)氣體管道的查曲半徑，設(shè)置合活的支架位置，必須支持所有查曲。做氣管道安裝管道的所有支架均應(yīng)鍍鋅防腐處理。

實驗室高純氣路布局